ExLASER® 是一种多功能激光平面瞬时加热装置。
可以超快速的温度上升和下降。
一次均匀加热 2 英寸基板
直接加热只能用于被加热的物体。
可根据工艺进行温度控制
节能而不加热大气
激光照射方法 | 直接型 | 体型 | 高 625 毫米 × 宽 700 毫米 × 深 320 毫米 |
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激光功率 | 高达 1kW | 附属品 | 专用冷水机组 |
激光波长 | 808 纳米 | 额定 | 机身:1P200V20A 冷水机:1P200V15A |
激光几何形状 | 广场 | ||
光学元件(均匀性) | 均质器 (±5%) | 言论 | JST Originality 建模 和开发产品 (FY17) |
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2025.3.19
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