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电商MRO供应链今日讲解日本坂口电热原子级抗锯齿热处理极简设备

更新时间:2025-03-20      浏览次数:192
  • φ12.5mm 晶圆(单晶圆处理)

  • 紧凑的外壳(约 30 cm 宽)

  • 无需洁净室

  • 低功耗(额定 AC100V 10A)

  • 超高真空(5 × 10 -5 Pa 或更低)

  • 快速升温和降温(2.5 秒至 1100°C)

  • 稳定的温度控制 (1100°C±0.5°C)

  • 均匀的温度分布(变化 (σ/平均值):0.5%)

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2025.3.20


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